Ulrich Wagensommer Arbeitsbeispiel: Waferhandling
Dieser Greifer fast 50 lose 300 mm Wafer gleichzeitig. Die Greiferarme sind aus einem speziellen Kunststoff, die innen durch Kohlefaserstäbe verstärkt sind. Die Greifer müssen die Wafer in einem bis zu 180°C heißen Medium ablegen. Die Greifer öffnen zum Teil bahngesteuert, so dass die Wafer von der Schlitzgeometrie der Greifer in die Schlitzgeometrie der Becken übergleiten können.
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