Ulrich Wagensommer Arbeitsbeispiel: Covered-Chuck
Eine meiner ersten Arbeiten im Bereich der Halbleitertechnik war dieser Covered-Chuck, der als Beschichtungsgerät (Spin-Coater) speziell für eckige Substrate entwickelt wurde. Die unten dargestellte Funktionsbeschreibung war Teil der mit dieser Konstruktion erstellten CE-konformen Dokumentation.
> Fenster schließen